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Edwards:真空泵大化性能

日期:2024-10-06 13:29
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摘要:
克勞利--(BUSINESS WIRE)--(商業(yè)資訊)--Edwards Limited是一家全球的真空設備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關增值服務提供商,該公司近日推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節(jié)省更多成本。

Edwards:新真空泵大化性能
  
  Edwards TMP產(chǎn)品營銷經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示:“STP-iXA4506渦輪泵是改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉(zhuǎn)子設計和成熟且高度的iXA系列機載控制器,使容許的通過的氣量大化,從而使高流量過程所需的渦輪泵數(shù)量減至,尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求,因而也節(jié)省了成本,體積緊湊易于在應用中快速安裝。此外,就像我們的磁浮式渦輪泵一樣,無需機械軸承的特性免除了定期維護的成本?!?/span>
  
  這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達4300 sccm N2)結(jié)合其抽吸輕氣體和重氣體的能力,使STP-iXA4506適用于許多不同的大流量、高流動性應用,包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個密封的電子模組,以在嚴苛的工廠環(huán)境中實現(xiàn)穩(wěn)健、的操作。需要時還可增加一套加熱系統(tǒng),以減少來自工藝過程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。

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